行星減速機齒輪的熱處理變形直接影響到齒輪的精度、強度、噪聲和壽命，即使在滲碳熱處理后加上磨齒工序，變形仍然要降低齒輪的精度等級。影響滲碳熱處理變形的因素較多，只有控制各方面的因素才能將變形控制到較小程度，一般常見的幾種齒輪處理工藝如下：

針對精密減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪熱處理方法有很多。如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據齒輪行星減速機的特點選定。

1.表面淬火

常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果zui好。齒面硬度可達45-55HRC。

2.滲氮

采用滲氮可保證齒輪在變形zui小的條件下，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行zui好的精加工，提高了承載能力。

3.滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。

滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的分數為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內，若低于57HRC時，硬面強度顯著下降，高于62HR則脆性增加。滲碳淬火齒輪的硬度，從齒輪表面至深層逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度5.25HRC處的深度。

滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應力。它可使zui大壓應力區的應力減小，因此磨齒時不能磨齒根部分。

選擇好的行星齒輪減速機材料，有利于提高齒輪減速機的承載力及使用壽命。