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新型玻璃微熔壓力傳感器

2018-10-26 瀏覽量 384

玻璃微熔技術(shù)簡介:

優(yōu)點:新型玻璃微熔壓力傳感器,采用美國加州理工大學(xué)專利的新型玻璃微熔技術(shù),將17-4PH低碳鋼通過高溫玻璃粉將硅應(yīng)變汁燒結(jié)在腔體的背面,腔體由17-4PH不銹鋼整體車出來,適應(yīng)高壓力過載,能有效抵御瞬間壓力沖擊。無充油、無隔離膜片,可測帶有少量雜質(zhì)的流體介質(zhì);不銹鋼整體結(jié)構(gòu),無“O”型密封圈,絕無泄漏隱患。高壓型可測600MPa(6000bar),產(chǎn)品高精度型可做到0.075%。

缺點:小量程測量難度較大,一般測量范圍在100kPa以上,因此可在所有量程在100kPa以上、已使用擴散硅壓力傳感器場所替代傳統(tǒng)擴散硅壓力傳感器,在要求高壓、高精度測量場所的優(yōu)勢更加明顯。

詳細:

基于 MEMS(微機電)技術(shù)的壓力傳感器,它是建立在微米/納米基礎(chǔ)上,在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋(Wheatstone bridge)組成的硅應(yīng)變計,具有輸出靈敏度高,性能穩(wěn)定,批量可靠性、重復(fù)性好等優(yōu)點。

先進的工藝

經(jīng)500℃以上高溫熔化玻璃,將硅應(yīng)變片燒結(jié)在17-4PH不銹鋼傳感彈性體上,彈性體受壓變形后產(chǎn)生電信號,由帶微處理器的數(shù)字補償放大電路進行放大,經(jīng)數(shù)字軟件進行全智能溫度補償,輸出標(biāo)準(zhǔn)信號。在標(biāo)準(zhǔn)凈化生產(chǎn)過程中,參數(shù)嚴(yán)格受控,避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響,具有頻響高、工作溫度寬等特點,保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長期穩(wěn)定性。

智能數(shù)字溫度補償電路將溫度變化劃分為若干小區(qū)間,每一個小區(qū)間的零位和補償值都被分別寫入補償電路中,在使用中,這些值被寫入受溫度影響的模擬量輸出路徑中,每一個溫度點都是該變送器的“校準(zhǔn)溫度”。

傳感器數(shù)字電路針對射頻、電磁干擾、浪涌電壓的工況進行精心設(shè)計,具有抗干擾能力強,供電范圍寬、極性保護等特點。

可靠的結(jié)構(gòu)

壓力腔體采用進口17-4PH不銹鋼整體加工,無"O"型圈、無焊縫,無泄漏隱患。傳感器過載能力為200%FS,破壞壓力為500%FS,適應(yīng)高壓力過載。針對液壓系統(tǒng)可能產(chǎn)生的瞬間壓力突變,傳感器內(nèi)置阻尼保護裝置,能有效抵御瞬間壓力沖擊。


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